사업분야
제품소개
회사 제품 종류
황화카르보닐 - 반도체 제조용 Etching 가스
| 제품명 | COS |
|---|---|
| CAS No | 463-58-1 |
| 순도 | 99.99% 이상 |
| 용기 | 47L |
삼불화염소 - 반도체 제조용 Cleaning 가스
| 제품명 | CLF3 |
|---|---|
| CAS No | 7790-91-2 |
| 순도 | 99.9% 이상 |
| 용기 | 47L |
사불화탄소(CF4) - 반도체・FPD제조용 Etching / Cleaning 가스
| 제품명 | CF4 |
|---|---|
| CAS No | 75-73-0 |
| 순도 | 99.999% 이상 |
| 용기 | 47L, YCylinder |