社業情報
会社の製品の種類
会社の製品の種類
硫化カルボニル - 半導体製造用のエッチングガス
| 化学式 | COS |
|---|---|
| CAS No | 463-58-1 |
| 純度 | 99.99% 以上 |
| 容器 | 47L |
三フッ化塩素 - 半導体製造用のクリーニングガス
| 化学式 | CLF3 |
|---|---|
| CAS No | 7790-91-2 |
| 純度 | 99.9％以上 |
| 容器 | 40L |
四フッ化炭素 - 半導体・FPD製造用のエッチングガス/クリーニングガス
| 化学式 | CF4 |
|---|---|
| CAS No | 75-73-0 |
| 純度 | 99.999% 以上 |
| 容器 | 47L, YCylinder |